製品概要

膜厚モニター水晶

膜厚モニター水晶は、真空成膜時に使用され、物理膜厚を検知するセンサーです。
弊社膜厚モニターは、高度な技術を用い、設計・製造。より発振のばらつきを抑えたセンサーをご提供しております。
お客様より、お預かりした水晶をリサイクルする事業では、結果をフィードバックしております。

膜厚モニター水晶

Q&A

水晶振動子は表面に物質が付着すると周波数が下がる特性を持っています。
その特性を利用しnmオーダーの非常に薄い膜の膜厚センサーとして活用されます。

一般的には金電極をお勧めしております。保管時の劣化等の心配が少ない特徴もあります。

スパッタでは銀電極をお勧めします。銀電極は熱プロセスで熱による周波数測定誤差を抑えることができます。
ただし、酸化・硫化されやすいため、保管環境に注意が必要です。

アルミ電極はストレスの高い膜を蒸着する時にお勧めしております。
主に光学膜を成膜するお客様に多く使用されております。

それぞれの特徴を記しましたが、お客様のプロセス条件に依存しますので、お気軽にご相談ください。

5MHzは直径12.5mm、6MHzは直径14㎜となります。

お客様のプロセス条件や材料に依存しますので、お客様の生産条件に合わせて、RATEが暴れ始める前に交換頂く事で安心してご使用になる事が出来ます。
弊社としましては水晶厚みの1%、すなわち6MHzの場合約3μmを推奨しております。

水晶はnmオーダーの膜厚が測れるくらい繊細な製品です。
表面に傷や汚れが付着しますと誤測定の可能性が高くなります。
素手で取り扱う事は避け、ピンセット等を利用し、出来る限り輪郭に近い箇所を掴んでください。 
弊社は水晶の取扱いに適したピンセットの販売も行っておりますので、お気軽にお問合せ下さい。

高湿度・高温の場所を避けて頂くため、デシケーターにて保管下さい。

デシケータにて保管した場合、
Auは、未開封の状態で約6か月、
Ag、Alloyは、未開封の状態で約3か月です。
開封後はできるだけ早めに(約1か月)使用してください。

膜厚モニター水晶

6MHz

項目6A100W
6A121P
6D100W
外形寸法Φ14Φ14
電極材料AuAl-allow
中心周波数5,985kHz5,985kHz
周波数許容範囲±5.0kHz±5.0kHz
直列抵抗15Ωmax15Ωmax
動作温度範囲25~120℃25~120℃
周波数温度特性±50ppm±50ppm
膜厚モニター水晶

5MHz

項目5A500
5A510
5A511
5B500
5B511
5D500
5D510
外形寸法Φ12.5Φ12.5Φ12.5
電極材料AuAgAl-alloy
中心周波数5,000kHz5,000kHz5,000kHz
周波数許容範囲±5.0kHz±5.0kHz±5.0kHz
直列抵抗15Ωmax15Ωmax15Ωmax
動作温度範囲25~120℃25~120℃25~120℃
周波数温度特性±50ppm±50ppm±50ppm
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