水晶振動子は表面に物質が付着すると周波数が下がる特性を持っています。
その特性を利用しnmオーダーの非常に薄い膜の膜厚センサーとして活用されます。

一般的には金電極をお勧めしております。保管時の劣化等の心配が少ない特徴もあります。

スパッタでは銀電極をお勧めします。銀電極は熱プロセスで熱による周波数測定誤差を抑えることができます。
ただし、酸化・硫化されやすいため、保管環境に注意が必要です。

アルミ電極はストレスの高い膜を蒸着する時にお勧めしております。
主に光学膜を成膜するお客様に多く使用されております。

それぞれの特徴を記しましたが、お客様のプロセス条件に依存しますので、お気軽にご相談ください。

5MHzは直径12.5mm、6MHzは直径14㎜となります。

お客様のプロセス条件や材料に依存しますので、お客様の生産条件に合わせて、RATEが暴れ始める前に交換頂く事で安心してご使用になる事が出来ます。
弊社としましては水晶厚みの1%、すなわち6MHzの場合約3μmを推奨しております。

高湿度・高温の場所を避けて頂くため、デシケーターにて保管下さい。

デシケータにて保管した場合、
Auは、未開封の状態で約6か月、
Ag、Alloyは、未開封の状態で約3か月です。
開封後はできるだけ早めに（約1か月）使用してください。