製品概要
膜厚モニター水晶
膜厚モニター水晶は、真空成膜時に使用され、物理膜厚を検知するセンサーです。
弊社膜厚モニターは、高度な技術を用い、設計・製造。より発振のばらつきを抑えたセンサーをご提供しております。
お客様より、お預かりした水晶をリサイクルする事業では、結果をフィードバックしております。
膜厚モニター水晶
6MHz
項目 | 6A100W 6A121P | 6D100W |
---|---|---|
外形寸法 | Φ14 | Φ14 |
電極材料 | Au | Al-allow |
中心周波数 | 5,985kHz | 5,985kHz |
周波数許容範囲 | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
直列抵抗 | 15Ωmax | 15Ωmax |
動作温度範囲 | 25~120℃ | 25~120℃ |
周波数温度特性 | ±50ppm | ±50ppm |
膜厚モニター水晶
5MHz
項目 | 5A500 5A510 5A511 | 5B500 5B511 | 5D500 5D510 |
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外形寸法 | Φ12.5 | Φ12.5 | Φ12.5 |
電極材料 | Au | Ag | Al-alloy |
中心周波数 | 5,000kHz | 5,000kHz | 5,000kHz |
周波数許容範囲 | ±5.0kHz | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
直列抵抗 | 15Ωmax | 15Ωmax | 15Ωmax |
動作温度範囲 | 25~120℃ | 25~120℃ | 25~120℃ |
周波数温度特性 | ±50ppm | ±50ppm | ±50ppm |