真空蒸着用膜厚センサー
製品概要
真空蒸着用膜厚センサー（以下『膜厚モニター水晶』）は、真空成膜時に使用され、物理膜厚を検知するセンサーです。
膜厚モニター水晶 6MHz
| 項目 | 6A100W 6A121P | 6D100W |
|---|---|---|
| 外形寸法 | Φ13.9 | Φ13.9 |
| 電極材料 | Au | Al |
| 中心周波数 | 5,985kHz | 5,985kHz |
| 周波数許容範囲 | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
| 直列抵抗 | 15Ωmax | 15Ωmax |
| 動作温度範囲 | 25~120℃ | 25~120℃ |
| 周波数温度特性 | ±50ppm | ±50ppm |
膜厚モニター水晶 5MHz
| 項目 | 5A500 5A510 5A511 | 5B500 5B511 | 5D500 5D510 |
|---|---|---|---|
| 外形寸法 | Φ12.5 | Φ12.5 | Φ12.5 |
| 電極材料 | Au | Ag | Al |
| 中心周波数 | 5,000kHz | 5,000kHz | 5,000kHz |
| 周波数許容範囲 | ±5.0kHz | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
| 直列抵抗 | 15Ωmax | 15Ωmax | 15Ωmax |
| 動作温度範囲 | 25~120℃ | 25~120℃ | 25~120℃ |
| 周波数温度特性 | ±50ppm | ±50ppm | ±50ppm |
真空蒸着用膜厚センサーとは
真空蒸着用膜厚センサー（以下『膜厚モニター水晶』）は、真空成膜時に使用される膜厚を検知する事が出来るセンサーです。
下記簡略図をご覧下さい。
加熱された蒸着材料が基板と同じく膜厚モニター水晶にも付着します。
蒸着材料が膜厚モニター水晶に付着すると、膜厚モニター水晶の周波数が付着した蒸着材料の質量の変化によって変化します。
この周波数の変化量によって膜厚や成膜速度（レート）を計測し、真空蒸着装置などの成膜装置において、
蒸発源の加熱制御装置にフィードバックし基板への蒸着速度を一定に制御する事が出来ます。
弊社膜厚モニター水晶は、高度な技術を用い、設計・製造。より発振のばらつきを抑えたセンサーをご提供しております。
お客様より、お預かりした水晶をリサイクルする事業では、結果をフィードバックしております。
Q＆A
水晶振動子は表面に物質が付着すると周波数が下がる特性を持っています。
その特性を利用しnmオーダーの非常に薄い膜の膜厚センサーとして活用されます。
一般的には金電極をお勧めしております。保管時の劣化等の心配が少ない特徴もあります。
スパッタでは銀電極をお勧めします。銀電極は熱プロセスで熱による周波数測定誤差を抑えることができます。
ただし、酸化・硫化されやすいため、保管環境に注意が必要です。
アルミ電極はストレスの高い膜を蒸着する時にお勧めしております。
主に光学膜を成膜するお客様に多く使用されております。
それぞれの特徴を記しましたが、お客様のプロセス条件に依存しますので、お気軽にご相談ください。
5MHzは直径12.5mm、6MHzは直径14㎜となります。
高湿度・高温の場所を避けて頂くため、デシケーターにて保管下さい。
デシケータにて保管した場合、
Auは、未開封の状態で約6か月、
Ag、Alloyは、未開封の状態で約3か月です。
開封後はできるだけ早めに（約1か月）使用してください。