製品概要

膜厚モニター水晶

膜厚モニター水晶は、真空成膜時に使用され、物理膜厚を検知するセンサーです。
弊社膜厚モニターは、高度な技術を用い、設計・製造。より発振のばらつきを抑えたセンサーをご提供しております。
お客様より、お預かりした水晶をリサイクルする事業では、結果をフィードバックしております。

膜厚モニター水晶

6MHz

項目6A100W
6A121P
6D100W
外形寸法Φ14Φ14
電極材料AuAl-allow
中心周波数5,985kHz5,985kHz
周波数許容範囲±5.0kHz±5.0kHz
直列抵抗15Ωmax15Ωmax
動作温度範囲25~120℃25~120℃
周波数温度特性±50ppm±50ppm
膜厚モニター水晶

5MHz

項目5A500
5A510
5A511
5B500
5B511
5D500
5D510
外形寸法Φ12.5Φ12.5Φ12.5
電極材料AuAgAl-alloy
中心周波数5,000kHz5,000kHz5,000kHz
周波数許容範囲±5.0kHz±5.0kHz±5.0kHz
直列抵抗15Ωmax15Ωmax15Ωmax
動作温度範囲25~120℃25~120℃25~120℃
周波数温度特性±50ppm±50ppm±50ppm
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