製品概要
膜厚モニター水晶
膜厚モニター水晶は、真空成膜時に使用され、物理膜厚を検知するセンサーです。
弊社膜厚モニターは、高度な技術を用い、設計・製造。より発振のばらつきを抑えたセンサーをご提供しております。
お客様より、お預かりした水晶をリサイクルする事業では、結果をフィードバックしております。
膜厚モニター水晶
6MHz
| 項目 | 6A100W,6A121P | 6D100W |
|---|---|---|
| 外形寸法 | Φ14 | Φ14 |
| 電極材料 | Au | Al-allow |
| 中心周波数 | 5,985kHz | 5,985kHz |
| 周波数許容範囲 | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
| 直列抵抗 | 15Ωmax | 15Ωmax |
| 動作温度範囲 | 25~120℃ | 25~120℃ |
| 周波数温度特性 | ±50ppm | ±50ppm |
膜厚モニター水晶
5MHz
| 項目 | 5A500,5A510,5A511 | 5B500,5B511 | 5D500,5D510 |
|---|---|---|---|
| 外形寸法 | Φ12.5 | Φ12.5 | Φ12.5 |
| 電極材料 | Au | Ag | Al-alloy |
| 中心周波数 | 5,000kHz | 5,000kHz | 5,000kHz |
| 周波数許容範囲 | ±5.0kHz | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
| 直列抵抗 | 15Ωmax | 15Ωmax | 15Ωmax |
| 動作温度範囲 | 25~120℃ | 25~120℃ | 25~120℃ |
| 周波数温度特性 | ±50ppm | ±50ppm | ±50ppm |