石英晶體應力感測元件

Q-HSP Sensor

何謂石英晶體應力感測元件?

利用以往未受利用的,對石英晶體的輪廓方向應力的共振頻率的影響所研發而成(圖1)
對石英晶體的輪廓方向施加負荷的話,其振盪頻率會呈直線性變化(圖2)
此項研發事業榮獲日本東京都 平成22年度新製品・新技術開発支援補助採選

石英晶體應力感知元件的特徵為何?

其最大的特徵可取得不受外部環境溫度影響的溫度特性
此外還可保有其高精度・高解析能力的優點,並加以小型化設計

石英晶體應力感測元件的運用分野為何?

將來可成為壓力感測器・重量感測器・振動感測器等各種感測運用

図1 輪廓應力的共振頻率之影響
図2 頻率的負荷重量性

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