水晶応力センサー
Q-HSPセンサー

水晶の輪郭方向に負荷をかけると、直線的に周波数が変化する特性があります。
その特性を利用したのが水晶応力センサーです。

水晶応力センサーとは

以前は不要な特性であった、輪郭方向応力の共振周波数への影響を利用しています。(図1)
水晶の輪郭方向に負荷をかけると、直線的に周波数が変化します。(図2)
東京都 平成22年度新製品・新技術開発助成採択の事業です。

水晶応力センサーの特徴は?

最大の特徴は外部環境温度に依存しない、温度特性を得る事が出来ます。
また高精度・高い分解能を有しながら、小型化が可能です。

水晶応力センサーの応用分野は?

圧力センサー・重量センサー・振動センサー等々への応用が期待されています。

図1 輪郭応力の共振周波数の影響
図2 周波数の負荷重量依存性

サンプル画像